低温等离子体具有降解S02、H2S等废气的独特功能，是因为采用强脉冲等离子电源，使净化设备中的等离子电场产生脉冲电晕放电，这种放电产生于两个电极之间，并在脉冲高压电作用下对空气放电，从而产生等离子体，将空气激活。一方面离解出大量的游离活性基团（OH－、O2－、H＋、O3），这些活性基团能促进S02、H2S转化成酸雾的反应。在脉冲间隙期间，直流基电压使生成的产物向集尘极迁移而被吸附，从而达到高效脱硫的目的。另一方面，高频高压产生极高的电子能量，将S02、H2S的键能打断，形成单质硫吸附在极板上。总之该净化技术流程短、效率高、能耗低，运行成本低。
等离子体净化装置的工艺流程和说明：
（1）．净化装置的工艺流程图：
（2）．净化工艺说明：
·*段为预处理装置。
预处理装置由不锈钢均流板、不锈钢丝网组成，主要滤去毫米级以上的粉尘杂质和大分子水汽。
·第二段为高分子滤膜装置：
高分子滤膜(PTFE)是用结晶态聚四氟乙烯材料用特殊工艺覆合在各种基材上，使其成为一种新型的微孔薄膜滤料，其孔径一般在0.2--15μm之间，厚度为15--30μm，孔隙率高达80 --90%。具有耐酸碱、耐高温、耐高湿、易剥离、低阻、高渗透性和净化效率高、使用寿命长、运行费用省等特点。主要除去前级未除尽的微米级粉尘。
·第三段为等离子体电场降解装置：
利用等离子体电晕技术降解有毒有害废气，是国际环境科技领域内的尖端技术。等离子体降解装置设计两级并串联净化，每级净化装置设置6—8组宽间距，高压强脉冲等离子体特殊规格的电场组件，*大限度等离子体的脉冲强度，因此本净化段能基本除尽有毒有害物质。
·第四段为高效催化氧化和恶臭异味净化装置：
我司从加拿大CIRCUL-AIRE公司引进的高效的催化氧化剂，是世界前沿高科技产品。该催化氧化剂以稀土材料为载体，同时浸渍高效强氧化剂，经科学工艺合成。该氧化剂微孔多，吸附性强，比表面积大，约600－800M2/g，因此具有使用周期长、更换容易等优点。应用催化氧化剂主要对前段尚余的有毒有害物质予以氧化处理，确保高效达标排放。
