我公司在国家“863”计划支持下,从事化学气相沉积(CVD)金刚石的研究开发已有十多年的历史,成功研制了具有自主知识产权的直流等离子喷射CVD设备,采用该设备生产的金刚石膜具有热导率高、机械强度好、成本低的特点。目前可提供多种品级及规格的金刚石膜热沉片,热导率*高可达1800W/m.K。
应用领域:
我公司提供的CVD金刚石膜热沉片系列产品外形可精确加工,并能金属化,可满足多种热学应用。主要应用领域包括:激光二级管、激光二极管阵列、大功率的半导体和微波器件等。
主要特性:
具有优异的热传导性能
可制备大面积的散热片
电绝缘
化学惰性
低热容量
可金属化
性能参数:
维氏硬度 7000-10000kg/mm2 密度3.51g/cm3
杨氏模量 1000-1100GPa 热导率(三种规格) 1200W/m•K;1500W/m•K;1800W/m•K 化学稳定性 不溶于所有的酸和碱 断裂强度 >500MPa(膜厚0.5mm,生长面受力) 热膨胀系数1.0±0.1ppm/K(300K);4.4±0.1ppm/K(1000K) 泊松比 0.1 平行度<4µm/cm 厚度误差 ±50µm 生长面光洁度 <100nm Ra 形核面光洁度 <30nm 尺寸<25mmx25mm
标准厚度:300µm
厚度、尺寸可根据用户要求加工。