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L4513、L4514系列高温扩散炉
扩散炉应用行业
扩散炉应用:应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池、半导体器件的扩散、氧化退火、烧结等工艺,也可做为磁性材料的烧结工艺,还可适用于机械行业的淬火、冶金业稀土的烧结工艺。
扩散炉特点:
1主机为水平一至四管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺
2工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制
3采用悬臂送片器:操作方便、无摩擦污染等
4关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
5工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染(管路均采用EP级电抛光管路),流量控制采用质量流量计(MFC)进口
6控温精度高,温区控温稳定性好;
7具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
4、扩散炉主要技术参数:
5.1工作温度:200〜1300℃
5.2加热体控制点:3/5点
5.3炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒温区精度:>800℃/±0.5℃,<800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性:600〜1300℃/±0.5℃/24h
5.6*大可控升温速度:25℃/min
5.7*大降温速度:5℃/min(900〜1300℃)
5.8供电:三相四线,380VAC/50Hz
6、结构尺寸:
6.1结构:水平扩散炉/垂直扩散炉
扩散炉选型
1按结构可分为立式和卧式两种。
2推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。
3工作台有简易操作台(无净化、净化);标准操作台(无净化、净化)。
4按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分:
1.按流量控制器区分:可分为浮子流量计和质量流量控制器。
2.按阀门及连接方式区分:可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。
5按工艺类型区分:可分为干氧氧化.湿氧氧化(普通湿氧化和氢氧合成氧化). 磷扩散.硼扩散和退火(合金)等多种。
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