复合离子镀膜机是在多弧离子镀膜机的基础上配置圆柱靶或平面磁控靶，设备具备离子镀的高离化率、高沉积速度的特点，同时也具备磁控溅射低温、稳定的优点，适合镀各种复合膜层，，可以做到多复合膜层一次性完成，膜层具有很高的结合力、硬度、耐磨系数，特别适合钟表、五金刀具、工艺品厂家的IPG、IPS、刀具搀杂、复合膜层的制备。基本设备参数如下：镀膜室内壁尺寸¢800-900×h800-900(mm)有效镀膜尺寸¢700-800×h600-700(mm)工件旋转挂具公转 公自转旋转挂具布置方式真空室上端向下安装，可改为下端向上安装挂杆数量公转4根 公自转8根旋转速度0-5转/分钟（公转）调速器调节可镀工件*大尺寸¢150-170×h550-650(mm)自转用途工具镀膜 装饰镀膜被镀工件种类金属玻璃陶瓷塑料等可镀膜层种类TiN TiAlN CrN TiC TiCN等等真空泵2X-70粗抽泵 2X-30维持泵罗茨泵ZJP-150扩散泵KT-400极限真空度优于6×10-4Pa工作真空度6.67×10-3Pa阴极电弧离子源6个电动引弧 间接冷却磁控溅射靶一对（两个） 直接冷却偏压电源20KW 20KHz逆变电源磁控溅射电源25KW 40KHz 中频脉冲电源电弧电源6台 0-200A电流可调真空室加热功率15-18KW温度PID调节控制模式自动（A）手动（B）
